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技术参数

  • ●基板尺寸：按要求定制
  • ●密封腔体泄漏率：≤0.05vol%/h
  • ●极限真空：2x10-5 Pa
  • ●抽气速率：0-100mbar/s （可调）
  • ●基板载台温度：0-60℃，±1℃（可定制）
  • ●冷板温度：0-60℃，±1℃，（可定制）