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技术参数
●基板尺寸:按要求定制
●UV光强度:1.5J/cm2,10%-100%(可调)
●UV光强均一度:≥95%
●UV扫描速度:250mm/s(可调)
●UV光源波长:395nm(可选配)
●水氧含量控制:≤1ppm
装备技术优势
优势内容
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