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技术参数

  • ●基板尺寸：按要求定制
  • ●Robot精度：≤±0.5mm
  • ●密封腔体泄漏率：≤0.05vol%/h
  • ●水氧含量控制：≤1ppm
  • ●温控精度：室温±1℃
  • ●箱内洁净度控制：ISO3
  • ●静电：≤±100V