技术参数
- ●基板尺寸:200*200mm(可定制)
- ●基板厚度:0.2-1.5mm
- ●运动精度:≤±3μm
- ●打印精度:≤±10μm
- ●材料粘度:5-20cps, 1-20000cps
- ●墨滴体积控制:±5%
- ●缺陷检出率:≥99%
- ●水氧含量控制:≤1ppm
- ●箱内洁净度控制:ISO3
- ●辅助设备:VCD/UV/HPB可选配
装备技术优势
- 同时配置EHD与PZT喷印技术
- 高精度视觉精确定位与测量技术
- 微纳结构点、线、面制备技术
- 飞行墨滴精确测量技术
- 图案化规划与参数自适应调控技术
- 多液滴智能混合技术
- 在线AOI缺陷检测技术