Technology

产品技术

VCD产品线

       VCD产品线为国创科研发的真空干燥固化系列装备。公司已完成大、中、小多代VCD产品的开发。通过结构合理设计，流场优化，提高干燥腔室的抽速与均匀性，载台温度均匀可控。自主开发的控制系统，功能开放，多段真空、抽速、保压时间可调，便于用户调整工艺参数，支持工艺过程参数监控测量、保存导出，有效为工艺开发提供支撑。

电话：027-63495836
邮箱：sales@whnite.com
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技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●密封腔体泄漏率：≤0.05vol%/h
  • ●极限真空：可定制
  • ●抽气速率：0-100mbar/s（可调）
  • ●基板载台温度：0-60℃，±1℃（可定制）
  • ●冷板温度：0-60℃，±1℃（可定制）