Technology

产品技术

TM产品线

       TM产品线为国创科研发的工艺氛围控制腔体与基板转移产品，已完成大中小尺寸开发应用。腔体结构、流场经过优化设计，确保腔内的压力、温度稳定；层流气流稳定，保证内部工艺氛围稳定洁净。密封腔体可配合机械手及产线定制开发与集成，最大程度满足使用与维护的需求。

电话：027-63495836
邮箱：sales@whnite.com
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技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●Robot精度：≤±0.5mm(选配)
  • ●密封腔体泄漏率：<0.05vol%/h
  • ●水氧含量控制：<1ppm
  • ●温控精度：室温±1℃(可定制)
  • ●箱内洁净度控制：lSO3
  • ●静电：≤±100V