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产品技术

AOI产品线

       NEJ-AOI是国创科开发的检测装备,主要应用于OLED EL工艺段的particle及膜层缺陷检测。AOI系列与国创科的膜层与RGB系列设备配合可实现从喷印到检测的整体方案,更利于智能化管理,实现前后工艺闭环调整,提高产品质量与良率。

电话:027-63495836
邮箱:sales@whnite.com
技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸:可定制
  • ●缺陷检测尺寸:3μm(可定制)
  • ●复检相机:5~20倍可选配
  • ●运动精度:≤±3μm
  • ●重复定位精度:≤±1μm
  • ●对焦及复检测:支持自动对焦及自动复检功能
  • ●异形检测:支持多种异形panel同时测试
  • ●缺陷分类功能:持缺陷自动分类