VCD装备

          国创科VCD 装备为光刻胶、钙钛矿、有机显示等材料提供真空干燥固化解决方案。公司已完成 大、中、小多代VCD 产品的开发。通过结构合理设计，流场优化，提高干燥腔室的抽速与均匀性，载台与冷凝板温度均匀可控。自主开发的控制系统，功能开放，多段真空、抽速、保压时间可调，便于用户调整工艺参数，支持工艺过程参数监控测量、保存导出，有效为工艺开发提供支撑。

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UV装备

         国创科UV装备提供完整的光固化解决方案。公司已完成大、中、小多代UV 产品的开发。中大尺寸 UV 产品可配置高均匀气浮支撑流平技术，提高大尺寸基板上液膜流平均匀性，避免 pin  mura产生。小尺寸UV产品可集成于打印装备内，实现跟随固化或打印后固化。自主开发的控制系统，功能开放，扫描速度、固化光强可调，便于用户调置工艺参数。支持工艺过程参数监控、保存导出，有效为工艺开发提供支撑。

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HPB装备

       HPB产品线为国创科研发的热固化系列装备，可满足大、中、小尺寸基板均匀热固的需求。结构设计合理，易于使用与维护。载台加热方式优化，提高了载台温度均匀性，减少了载台变形，保证产品热固效果。内置多点温度测量系统，实时监测工艺温度。自主开发的控制系统，功能开放，支持多段温度曲线设置，升温速度可调，便于用户调整工艺参数。

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TM装备

         国创科TM 装备为基板提供完整的物流转移方案。并可提供氮气等工艺氛围环境。腔体结构、流场经过优化设计，确保腔内的压力、温度稳定；层流气流稳定，保证内部工艺氛围稳定洁净。密封腔体可配合机械手及产线定制开发与集成，最大程度满足使用与维护的需求。

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