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产品技术

TM装备

         国创科TM 装备为基板提供完整的物流转移方案。并可提供氮气等工艺氛围环境。腔体结构、流场经过优化设计，确保腔内的压力、温度稳定；层流气流稳定，保证内部工艺氛围稳定洁净。密封腔体可配合机械手及产线定制开发与集成，最大程度满足使用与维护的需求。

电话：027-63495836
邮箱：sales@whnite.com
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技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●Robot精度：≤+0.5mm（可选配）
  • ●密封腔体泄漏率：≤0.05vol%/h
  • ●水氧含量控制：≤1ppm
  • ●温控精度：室温±1℃（可定制）
  • ●箱内洁净度控制：ISO3
  • ●静电：≤±100V

产品应用

  • 流场均匀分析图

  • 整体应力图