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ER型装备-TFT修复

          国创科NEJ-ER 型电流体装备，用于实现微纳结构修复工艺。采用直写与电流体技术结合，收敛线宽，实现高精线的线路打印。配置高精度运动平台及喷头系统。配合AOI 检测技术，可形成检测修复一体解决方案。设备适用于TFT 的线路的精准修复。

电话：027-63495836
邮箱：sales@whnite.com
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技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●点径尺寸：1～20μm
  • ●打印线宽：≤5μm
  • ●适用粘度：1～10000cps
  • ●打印精度：≤±2μm
  • ●运动精度：≤±1μm
  • ●喷嘴对位精度 ：≤1μm
  • ●视觉系统精度：≤1μm
  • ●喷嘴清洁：支持自动清洁
  • ●打印液滴测量：支持自动测量点径、线宽及缺陷

产品应用

  • 线路修复，线宽lμm

  • 小孔填充

  • 线路修复，线宽1μm