PTE小型装备
- 国创科NEJ-PTE小型喷印装备是为客户定制开发的小尺寸研发型打印装备,适用于TFE-IJP,MLP,Mini/Micro LED基板光阻喷印工艺的开发。该类型装备可满足新型材料,新工艺的快速验证,有利于提高材料、工艺的开发效率。
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技术参数
- ●基板尺寸:可定制
- ●墨滴体积:3.5/6/13pL,可选配
- ●打印精度:≤±10μm
- ●运动精度:≤±5μm
- ●膜厚范围:1~20μm
- ●膜厚均一性:≤5%
- ●边缘直线度:≤±50μm