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产品技术

PTH产品线

       国创科NEJ-PTH量产型装备，主要用于OLED AA Hole填孔制程，实现释放Array产能，并降低Mask成本。PTH产品线可满足AA Hole精准填孔，在满足生产节拍的同时，实现填孔形貌的一致性，为后续膜层制程提供坚实的基础。

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技术参数 装备技术优势 更多产品

技术参数

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●墨滴体积：3.5pL
  • ●打印精度：≤±7.5μm
  • ●运动精度：≤±2μm
  • ●膜厚范围：1~15μm
  • ●膜厚均一性：≥95%
  • ●洁净度等级：lSO3
  • ●水氧含量：≤1ppm